ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ୱେଫର୍ସ, ପ୍ରିସିସନ୍ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଲେନ୍ସ ଏବଂ ଆବୃତ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକରେ ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା, ଷ୍ଟେପ୍ ଉଚ୍ଚତା ଏବଂ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଘନତାର ଯାଞ୍ଚ ସିଧାସଳଖ ଉତ୍ପାଦନ ଉତ୍ପାଦନ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ। ପାରମ୍ପରିକ କଣ୍ଟାକ୍ଟ ପ୍ରୋବ୍ ସ୍କାନିଂ ସହଜରେ ସୂକ୍ଷ୍ମ ନମୁନାଗୁଡ଼ିକୁ ସ୍କ୍ରାଚ୍ କରିଥାଏ, ଯେତେବେଳେ ସାଧାରଣ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ମାପ ଉପକରଣ ନାନୋ-ସ୍ତରୀୟ ସଠିକତା ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ ନାହିଁ। ଏକ ସମୟରେ ଅଣ-ବିନାଶକାରୀ ପରୀକ୍ଷଣ, ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଉଚ୍ଚ ନାନୋ ସଠିକତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ମାସ୍ ଉତ୍ପାଦନ ନିରୀକ୍ଷଣ କିପରି ହାସଲ କରିବେ?
ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟ OEର ନୂତନ ଶିଳ୍ପ ଧଳା ଆଲୋକ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟରରେ ଡୁଆଲ୍ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମେଟ୍ରି ମାପ ମୋଡ୍ ରହିଛି। ସମ୍ପର୍କହୀନ ଚିହ୍ନଟ ସହିତ, ଏହା ପରୀକ୍ଷାଗାର R&D ଠାରୁ ଆରମ୍ଭ କରି ଅନଲାଇନ୍ ଉତ୍ପାଦନ QC ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ କାର୍ଯ୍ୟପ୍ରବାହକୁ କଭର୍ କରେ।
ସମସ୍ତ ପୃଷ୍ଠ ଟୋପୋଗ୍ରାଫି ପାଇଁ ଡୁଆଲ୍ କୋର୍ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମେଟ୍ରି ମୋଡ୍
ସିଙ୍ଗଲ୍-ମୋଡ୍ ମାପକ ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକ ପରି ନୁହେଁ, ଏହି ସିଷ୍ଟମ୍ VSI (ଭର୍ଟିକାଲ୍ ସ୍କାନିଂ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମେଟ୍ରି) ଏବଂ PSI (ଫେଜ୍-ସିଫ୍ଟିଂ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମେଟ୍ରି) ଆଲଗୋରିଦମକୁ ଏକୀକୃତ କରେ, ଗୋଟିଏ ମେସିନ୍ ସହିତ ଦୁଇଟି ମୁଖ୍ୟ ମାପ ଚାହିଦାକୁ ପୂରଣ କରେ।
| ତୁଳନା ଆଇଟମ୍ | VSI / CSI | ପିଏସଆଇ |
|---|---|---|
| ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରଯୁଜ୍ୟ ପୃଷ୍ଠଭୂମି | ଖରସ୍ମରଣୀୟ ପୃଷ୍ଠ, ପାହାଚ, ବିଚ୍ଛିନ୍ନ ଏବଂ ଜଟିଳ ସ୍ଥଳଗ୍ରାଫି | ଅତ୍ୟଧିକ-ସୁଦ୍ଧ, ନିରନ୍ତର ଏବଂ ଦର୍ପଣ ପୃଷ୍ଠ |
| ଭୂଲମ୍ବ ଉଚ୍ଚତା ମାପ ପରିସର | ବିସ୍ତୃତ ପରିସର; ଗଭୀର ଖାଲ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ପାହାଚ ମାପିପାରିବା ସକ୍ଷମ | ସଂକୀର୍ଣ୍ଣ ପରିସର; ପୃଥକ ବଡ଼ ପାହାଚ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ନୁହେଁ |
| ଭୂଲମ୍ବ ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ୍ | ନାନୋମିଟର ସ୍ତର; ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ ହୋଇଥିବା ଆଲଗୋରିଦମ ସହିତ ହାସଲଯୋଗ୍ୟ ଉପ-ନାନୋମିଟର | ସର୍ବାଧିକ ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ୍; ସବ୍-ନାନୋମିଟର ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପୁନରାବୃତ୍ତିଯୋଗ୍ୟତା, ସବ୍-ଆଙ୍ଗଷ୍ଟ୍ରୋମ୍ ସ୍ତର ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ |
| ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା ପ୍ରତି ସହନଶୀଳତା | ଅଧିକ | କମ୍ |
| ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଅସ୍ପଷ୍ଟତା | ପ୍ରାୟ କିଛି ନାହିଁ; ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଉଚ୍ଚତା ମୂଲ୍ୟ ଆଉଟପୁଟ୍ ଉପଲବ୍ଧ | 2π ପର୍ଯ୍ୟାୟ ରାପିଙ୍ଗ୍ ତ୍ରୁଟିର ଅଧୀନରେ |
| ବେଗ ମାପ | ଅକ୍ଷୀୟ ସ୍କାନିଂ ଆବଶ୍ୟକ, ତୁଳନାତ୍ମକ ଭାବରେ ଧୀର | ସାଧାରଣତଃ ଦ୍ରୁତ |
| କମ୍ପନ ପ୍ରତିରୋଧ | ସ୍କାନିଂ ସମୟରେ କମ୍ପନ ପ୍ରତି ସମ୍ବେଦନଶୀଳ | ମଲ୍ଟି-ଫ୍ରେମ୍ ଫେଜ୍ ସିଫ୍ଟିଂ, କମ୍ପନ ପ୍ରତି ଅଧିକ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ |
| ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ | ରୁକ୍ଷତା, ପାହାର ଉଚ୍ଚତା, ମାଇକ୍ରୋଷ୍ଟ୍ରକଚର, ମେସିନ୍ ହୋଇଥିବା ପୃଷ୍ଠ | ଅତ୍ୟଧିକ-ମୃଦୁ ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା, ପୃଷ୍ଠର ଚିତ୍ର ଏବଂ ସମତଳତା ପରୀକ୍ଷଣ |
PSI (ଫେଜ୍-ସିଫ୍ଟିଂ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମେଟ୍ରି): ନାନୋ-ସ୍କେଲ୍ ଛୋଟ ଉଚ୍ଚତା ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଏବଂ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପତଳା ଫିଲ୍ମରେ ବିଶେଷଜ୍ଞ, ଯାହା ସର୍ବୋତ୍ତମ ମାଇକ୍ରୋସ୍କପିକ୍ ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ୍ ପ୍ରଦାନ କରେ।
ପ୍ଲେନ୍ ମିରର୍
ବକ୍ର ଦର୍ପଣ (ଉତ୍ତଲ ଦର୍ପଣ)
ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫିକ୍ ପାଟର୍ନ ନମୁନା
VSI ଭୂଲମ୍ବ ସ୍କାନିଂ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମେଟ୍ରି: ବଡ଼ ଉଚ୍ଚତା ପରିବର୍ତ୍ତନ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ପାହାଚ ସହିତ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ର ପାଇଁ ଅନୁକୂଳିତ; ସେଗମେଣ୍ଟେଡ୍ ସ୍କାନିଂ ବିନା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ମାପ ପରିସର ଉପଲବ୍ଧ।
ଉନ୍ନତ ପ୍ୟାକେଜ୍ ହୋଇଥିବା ୱେଫର୍ସରେ ବୃତ୍ତାକାର ମାଇକ୍ରୋ ବମ୍ପ ଆରେ
ଉନ୍ନତ ପ୍ୟାକେଜ୍ ହୋଇଥିବା ୱେଫର୍ସରେ ଏଲିପ୍ଟିକାଲ୍ ମାଇକ୍ରୋ ବମ୍ପ ଆରେ
ମାଇକ୍ରୋଲେନ୍ସ ଆରେ
450–700 nm କ୍ଷୁଦ୍ର-ସହଯୋଗ ଧଳା ଆଲୋକ ଉତ୍ସ ସହିତ ମେଳ ଖାଇ, ଏହା ବହୁବିଧ ପ୍ରତିଫଳନରୁ ଆସୁଥିବା ବିପଥଗାମୀ ଆଲୋକକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଦମନ କରିପାରିବ ଏବଂ ଶକ୍ତିଶାଳୀ ହସ୍ତକ୍ଷେପ-ବିରୋଧୀ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ। ବହୁ-ସ୍ତର ଆବରଣ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ, କମ ପ୍ରତିଫଳନ ସହିତ ଏହି ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନ ସ୍ଥିର ଏବଂ ସ୍ପଷ୍ଟ ହସ୍ତକ୍ଷେପ ସଙ୍କେତ ବାହାର କରିପାରିବ, ଯାହା ପ୍ରାମାଣିକ ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ମାପ ଫଳାଫଳ ପ୍ରଦାନ କରେ।
2. ଶିଳ୍ପ-ଅଗ୍ରଣୀ ନାନୋ-ଗ୍ରେଡ୍ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ, ଟ୍ରେସେବଲ୍ ଏବଂ ସ୍ଥିର ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ତଥ୍ୟ
-ଏହି ସିଷ୍ଟମ 550 nm କେନ୍ଦ୍ରୀୟ ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟ ସହିତ ଏକ LED ଧଳା ଆଲୋକ ଉତ୍ସ ଗ୍ରହଣ କରେ, ଯାହା ବିଶ୍ୱ ପ୍ରିମିୟମ୍ ମାନଦଣ୍ଡ ସହିତ ମେଳ ଖାଉଥିବା ଉଚ୍ଚ-ସ୍ତରୀୟ କୋର୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପାରାମିଟର ସହିତ ସଜ୍ଜିତ।
-ଉଲମ୍ବ ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ: ＜1 nm, ପୁନରାବୃତ୍ତି ମାପ ତ୍ରୁଟି: ＜10 nm, ପ୍ରକୃତ ନାନୋମିଟର ସଠିକତା
-ସର୍ବାଧିକ ଭୂଲମ୍ବ ମାପ ପରିସର: 500 μm, ଉଚ୍ଚ-ନିମ୍ନ ମାଇକ୍ରୋଷ୍ଟ୍ରକ୍ଚର ପାଇଁ ପୁନରାବୃତ୍ତି ପୁନଃସ୍ଥାପନ ଆବଶ୍ୟକ ନାହିଁ।
-ସ୍କାନିଂ ଗତି: 100 μm/s, 10 ସେକେଣ୍ଡ ମଧ୍ୟରେ ଏକକ ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍କାନ ସମାପ୍ତ, ସଠିକତା ଏବଂ ଯାଞ୍ଚ ଥ୍ରୁପୁଟକୁ ସନ୍ତୁଳିତ କରେ।
-NIST ଟ୍ରେସେବଲ୍ ମାନକ ସହିତ ଅନୁପାଳନ, ବିଲ୍ଟ-ଇନ୍ ଅଟୋ-କାଲିବ୍ରେସନ୍ ଆଲଗୋରିଦମ ସ୍ଥିର ଟ୍ରେସେବଲ୍ ବ୍ୟାଚ୍ ଡାଟା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଶିଳ୍ପ ପାଇଁ କଠୋର QC ମାନଦଣ୍ଡ ପୂରଣ କରେ।
| ଆଇଟମ୍ | ପାରାମିଟର |
| କ୍ଷମତା ମାପ | ପ୍ରତିଫଳିତ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର 3D ପୃଷ୍ଠ ଭୂରୂପ, ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା, ପାହାର ଉଚ୍ଚତା ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ଘନତା |
| ତଥ୍ୟ ଅଧିଗ୍ରହଣ ମୋଡ୍ | ଭର୍ଟିକାଲ୍ ସ୍କାନିଂ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମେଟ୍ରି (VSI) + ଫେଜ୍-ସିଫ୍ଟିଂ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମେଟ୍ରି (PSI) |
| କାଲିବ୍ରେସନ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ | NIST ଟ୍ରେସେବଲ୍ ଷ୍ଟାଣ୍ଡାର୍ଡ + ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ କାଲିବ୍ରେସନ୍ ଆଲଗୋରିଦମ |
| ଭୂଲମ୍ବ ମାପ ପରିସର | ୫୦୦ ମାଇକ୍ରୋମିଟର |
| ଦୃଶ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ର | ୨୦× ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ: ୦.୮୭ × ୦.୬୫ ମିମି |
| କ୍ୟାମେରା କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା | ସର୍ବାଧିକ ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ୍: 2048×2448; ଫ୍ରେମ୍ ରେଟ୍: 74 Fps; ବିଟ୍ ଗଭୀରତା: 12 ବିଟ୍ |
| ସ୍କାନିଂ ବେଗ | ୧୦୦ μm/ସେ (ସଠିକତା ମୋଡ୍) |
| ଅବଜେକ୍ଟିଭ୍ ଲେନ୍ସ ବିକଳ୍ପଗୁଡ଼ିକ | ବିନ୍ୟାସଯୋଗ୍ୟ 20x / 50x ବର୍ଦ୍ଧନ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ |
| ସଂସ୍ଥାପନ ଡିଜାଇନ୍ | ବିଲ୍ଟ-ଇନ୍ ସକ୍ରିୟ ଭାଇବ୍ରେସନ୍ ଆଇସୋଲେସନ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ, ଭୂସମାନ୍ତର ଏବଂ ଭୂଲମ୍ବ ମାଉଣ୍ଟିଂ ଉପଲବ୍ଧ |
| ସାମଗ୍ରିକ ପରିମାଣ (L×W×H) | ୧୨୦ × ୮୦ × ୬୫ ସେମି |
| ନିଟ୍ ଓଜନ | ≤୫୮ କିଲୋଗ୍ରାମ |
3. ଇଣ୍ଡଷ୍ଟ୍ରିଆଲ୍ ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ କ୍ୟାବିନେଟ୍ ଡିଜାଇନ୍, ଲ୍ୟାବ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଲାଇନ ସହିତ ସୁସଙ୍ଗତ
ନମନୀୟ ସ୍ଥାପନ ସୁସଙ୍ଗତତା ସହିତ ଗଣ ଉତ୍ପାଦନ କର୍ମଶାଳା ଏବଂ ବୈଜ୍ଞାନିକ ଗବେଷଣା ପ୍ରୟୋଗଶାଳା ଉଭୟ ପାଇଁ ଅନୁକୂଳିତ।
ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ସକ୍ରିୟ କମ୍ପନ ପୃଥକୀକରଣ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ: କାରଖାନା କମ୍ପନ ଅଧୀନରେ ସ୍ଥିର ମାପ, କୌଣସି ଅତିରିକ୍ତ କମ୍ପନ ପୃଥକୀକରଣ ଟେବୁଲର ଆବଶ୍ୟକତା ନାହିଁ।
ଦ୍ୱୈତ ମାଉଣ୍ଟିଂ ଗଠନ: ଭୂସମାନ୍ତର କିମ୍ବା ଭୂଲମ୍ବ ସେଟଅପ୍, ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଉତ୍ପାଦନ ଲାଇନ ଏବଂ ପରୀକ୍ଷାଗାର କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ର ସହିତ ସହଜ ସମନ୍ୱୟ।
କମ୍ପାକ୍ଟ ଅଲ୍-ଇନ୍-ୱାନ୍ ବଡି: ୧୨୦×୮୦×୬୫ ସେମି ପରିମାପ ସହିତ ଛୋଟ ପାଦଚିହ୍ନ, ଓଜନ ≤୫୮ କିଲୋଗ୍ରାମ, ସାଇଟ୍ରେ ସରଳ ନିୟୋଜନ।
ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସିଷ୍ଟମରେ ଆଲୋକ ଉତ୍ସ, ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟର ମୁଖ୍ୟ ୟୁନିଟ୍ ଏବଂ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ମଡ୍ୟୁଲ୍ ଏକୀକୃତ। ଅନପ୍ୟାକିଂ ପରେ ପ୍ଲଗ୍-ଏଣ୍ଡ-ପ୍ଲେ, କୌଣସି ଜଟିଳ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପଥ ସମାୟୋଜନ ଆବଶ୍ୟକ ନାହିଁ।
ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ବ୍ୟାପକ ପ୍ରୟୋଗ କଭରେଜ୍
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପ: ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ସ ଏବଂ ମାଇକ୍ରୋ-ନାନୋ ଚିପ୍ସର 3D ଟୋପୋଗ୍ରାଫି ଏବଂ ଷ୍ଟେପ୍ ଉଚ୍ଚତା ଯାଞ୍ଚ।
ପ୍ରିସିସନ୍ ଅପ୍ଟିକ୍ସ: ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଲେନ୍ସ, ଅବଜେକ୍ଟିଭ୍ ଏବଂ ଆବୃତ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନ ପାଇଁ ରୁକ୍ଷତା ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ଘନତା ପରୀକ୍ଷଣ।
ନୂତନ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଆବରଣ: ପ୍ରତିଫଳିତ ଆବରଣ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ପତଳା ଫିଲ୍ମର ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରୋଫାଇଲ୍ ଏବଂ ଘନତା ବିଶ୍ଳେଷଣ।
ବୈଜ୍ଞାନିକ ଗବେଷଣା ପ୍ରୟୋଗଶାଳା: ମାଇକ୍ରୋ-ନାନୋ ଗଠନ ଚରିତ୍ର ଚିତ୍ରଣ ଏବଂ ସଠିକ ଉପାଦାନ ଆକୃତି ପରୀକ୍ଷା।
ଅପ୍ଟିକାଲ୍ R&D ରେ ବର୍ଷ ବର୍ଷର ବୃତ୍ତିଗତ ଅଭିଜ୍ଞତା ସହିତ, ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟ OE ସ୍ୱାଧୀନ ଭାବରେ ଧଳା ଆଲୋକ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟର ପାଇଁ ସମସ୍ତ କୋର୍ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପଥ ଏବଂ ମାପ ଆଲଗୋରିଦମ ବିକଶିତ କରେ। ଆଲୋକ ଉତ୍ସ, ଅବଜେକ୍ଟିଭ୍ ଲେନ୍ସରୁ କାଲିବ୍ରେସନ୍ ସିଷ୍ଟମ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ବୈଷୟିକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ। ପ୍ରତ୍ୟେକ ୟୁନିଟ୍ ବିତରଣ ପୂର୍ବରୁ ବହୁ-ଚକ୍ର ସଠିକତା କାଲିବ୍ରେସନ୍ କରେ। ଆମେ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ବିକ୍ରୟ ପରବର୍ତ୍ତୀ ବୈଷୟିକ ସହାୟତା ପ୍ରଦାନ କରୁ ଏବଂ ଗ୍ରାହକ ୱର୍କପିସ୍ ଆକାର ଏବଂ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଉତ୍ପାଦନ ଲାଇନ ଆବଶ୍ୟକତା ଉପରେ ଆଧାରିତ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ମାପ ସମାଧାନକୁ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ କରୁ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁଲାଇ-୧୫-୨୦୨୬